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飛秒激光無損去除薄膜材料

2019-7-2

隨著超快激光技術的快速發展,飛秒激光因其相 對于皮秒激光的更短脈沖、更高峰值,應用優 勢越來越明顯,其中以玻璃表面涂層去除更能 體現優勢。

玻璃基板 CIGS 太陽能薄膜電池刻蝕

CIGS 薄膜太陽能電池鍍膜后,需要在指定區域用激光將其刻蝕掉,皮秒和納秒激光,去除鍍膜時會有殘留,同時熱量對玻璃表面產生損傷,降低了薄膜電池的透光率和使用 壽命。


蘇州先手激光研發的飛秒工業激光器 FemtoYL 系列產品,300fs 超窄脈寬,5000kHz 超高頻率, <1.3 光束質量,<10um 的聚焦光斑 , 能有效解決這些問題。 依測試,優選參數為 1000kHz,10-30μj 脈沖能量(不同產 品),3000-5000mm/s 掃描速度。高能量密度的聚焦光斑, 在高速振鏡的配合下,重疊率達 80%,快速高效,去除均勻, 使產品透光率高達 90% 以上;高效去除的同時,對玻璃 0 損傷,大幅提高產品壽命。

   

手機玻璃蓋板去涂層

玻璃蓋板因其高強度、高硬度、對信號無干擾等優勢,在 手機行業廣泛應用,通常后蓋采用絲印工藝,之后輔以激光加 工去除指定位置的鍍膜 或油墨。納秒和皮秒激 光去除涂層時,熱損傷 導致的玻璃強度明顯下 降,降低蓋板的抗沖擊 性,同時去除存在殘留, 極大影響了攝像頭等功 能孔位置的透光性。


蘇州先手激光研發的飛秒工業激光器 FemtoYL 系列產品,能精確高效完美的去除預設區域的涂層。

產品油墨厚度一般為 10-40μm 之間,測試激光頻率 300-800k,脈沖能量10-40uj,激光焦點距油墨面0-1mm 之間, 500-2000mm/s 掃描速度,重疊率 65-90%,依油墨厚度的差 別,優選出不同參數組合;同時配合 Femto'YL 飛秒光源的 超短脈沖,在極短的時間內將油墨層去除,累計熱量不足以 使玻璃材質產生變化,配合振鏡重復掃描,實現均勻去除油 墨的同時不損傷玻璃基底,以保證加工后的玻璃透光性好, 無內應力,無微裂紋,有效增強抗沖擊。


相信隨著超快激光的不斷發展,以及行業需求的不斷 推進,飛秒激光將會在科研領域,微電子器件,醫療器件, 3C 電子等更多領域的精密加工應用中,有更廣闊的發展 空間。

 

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